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▲漢微科今(9)舉辦南科新廠啟用典禮，新廠年產能可達150台，足以因應市場所需。圖左為執行長招允佳，圖右董事長許金榮。(圖／記者高振誠攝)
記者高振誠／台北報導
半導體電子束設備廠漢微科(3658)今(9)舉辦南科新廠啟用典禮，新廠年產能達150台，應付未來產能所需無虞。董事長許金榮表示，目前手上訂單能見度約50~60台，依照現階段來看，今年預計還是以主力機種eScan500銷售情況最佳，另外，10nm製程設備也開始出貨，未來將視客戶需求進行產能調配，實值貢獻將逐月展現。
許金榮指出，去(2014)年很多業績貢獻來自於1nm(奈米)研發端，包括16、14以及10nm發展，其中1nm佔比由前(2013)年的13?到去年的27?年增需求達1.8倍。許金榮認為，1nm製程世代也已經從研發階段走入量產時程，很多客戶都會要求漢微科提供生產線檢測解決方案，這個部分將會在今年第2季開始擴大出貨。
另外，執行長招允佳也指出，隨著半導體已進入1nm先進製程，相較光學檢測所面臨技術升級瓶頸，市場對電子束檢測設備依賴度也逐年增加，看好未來5年產業將朝高成長發展方向，預計到了2020年電子束檢測設備的市場滲透率將突破50?
▲漢微科董相機ev是什麼意思事長許金榮。(圖／記者高振誠攝)
事實上，成立17年的漢微科，早期從矽谷的研發實驗室，到新竹的廠辦，全部都是用承租方式，南科新廠啟用之後，不僅營運將展現全新風貌，擴大市場影響力，經濟規模也將跟著放大。招允佳提到，漢微科的電子束能超越市場同業，並在眾多競爭對手當中走出1條「別人想學，卻學不來的路」，致勝關鍵在於總是走在最前面，當市場主流停在20、16奈米xnm，事實上，漢微科10nm去年就已經開始出貨給客戶。
招允佳進一步表示，將來電子束應用將不僅侷限於檢測方面，同時更要朝更多元的領域開發應用，對漢微科本身來說，從去年第4季推出的eP4，今年第1季已開始出貨，最新2款VectorScan新機，將陸續在今年第2季、第3季開始出貨，至於多槍電子束(Multi-colum)則計畫於年底推出，新品推出藍圖可說是一波接著一波。
南科新廠總共高8層樓，樓地板面積約1萬坪，1、2樓特別設計挑高空間，可容納56座機台進行組建，至於3樓部分，則負起E-beam生產製造基地，新廠年產能合計可達150台，除一般性採購之外，絕大部分零件均在台灣與當地廠商合作，並由漢微科自行組裝、測試及產出銷售，自製率達80?
▲漢微科董事長許金榮。(圖／記者高振誠攝) 攝影機 筆電
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